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特點輕量、緊湊，在標準品種尺寸小。適用於實驗室研究室的小型真空設備中。特別適用在半導體制造的濺射工藝裝置和小規模的裝置上。可以多臺運行（大3臺）。可以達到超高真空（10-8Pa以下）。日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U4H維修

ULVAC的PBL型油擴散噴射泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經驗所設計而成的。運用到了眾多高真高空設備中，它的實用性得到了非常高的評價。愛發科油擴散噴射真空泵 PBL系列維修保養

ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經驗所設計而成的。運用到了眾多高真高空設備中，它的實用性得到了非常高的評價。愛發科油擴散真空泵PFL系列PFL-22維修保養

ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經驗所設計而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本愛發科油擴散真空泵 ULK 系列維修保養

采用數碼5軸控制的磁力軸承的復合翼狀渦輪分子泵。UTM-FH，UTM-FW通過數碼5軸控制磁懸軸承的采用，實現高功能·高可靠性·節約能源對應等優勢。愛發科數碼磁力軸承型渦輪分子真空泵維修