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  首頁 >>> 產品展示 >>> 萊寶 >>> 萊寶真空計 >>> LEYSPEC view 100萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100
產品名稱: 萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100
產品時間: 2019-01-21
產品型號: LEYSPEC view 100
產品特點: LEYSPEC view 100 殘余氣體分析儀RGA
秉承萊寶Phoenix氦質普檢漏儀精準、穩定、長使用壽命等優點,萊寶真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA殘余氣體分析儀,為半導體 、鍍膜、冷凍干燥、熱處理及科研等行業提供了更多的過程控制分析診斷支持.萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100

萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100 的詳細介紹

LEYSPEC view 100 殘余氣體分析儀RGA

秉承萊寶Phoenix氦質普檢漏儀精準、穩定、長使用壽命等優點,萊寶真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA殘余氣體分析儀,為半導體 、鍍膜、冷凍干燥、熱處理及科研等行業提供了更多的過程控制分析診斷支持.萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型用途:檢漏判斷真空品質檢測工藝氣體提高品質和良品率故障診斷分析判斷低溫泵再生周期產品類別   產品系列分別提供了100、200、300原子質量單位的解決方案。
LEYSPEC view 100殘余氣體分析儀RGA

秉承萊寶Phoenix氦質普檢漏儀精準、穩定、長使用壽命等優點,萊寶真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA殘余氣體分析儀,為半導體 、鍍膜、冷凍干燥、熱處理及科研等行業提供了更多的過程控制分析診斷支持.

萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100

RGA2.jpg

真空系統泄漏示意圖-安博元

image.png


萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100

萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型用途:

  • 檢漏

  • 判斷真空品質

  • 檢測工藝氣體

  • 提高品質和良品率

  • 故障診斷分析

  • 判斷低溫泵再生周期

 

產品類別

   產品系列分別提供了100、200、300原子質量單位的解決方案。

  • LEYSPEC view版特別適用于高真空設備,科研、環境氣氛檢測及追蹤中的殘余氣體分析。

  • LEYSPEC ultra版用于復雜的殘余氣體分析,靈敏度高,耐烘烤溫度高,可檢分壓低。

    萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA 客戶受益:

  • 過程可控

  • LEYSPEC自帶數顯,易于現場管理

  • 贈送軟件易于使用及分析并有報警功能

     

  •  

    image.png

 

萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型應用:

  • 半導體生產設備

  • 鍍膜、顯示行業

  • 真空熱處理

  • 真空干燥

  • 研發

  • 蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

  • 常熟鎮江常州揚州泰州南通南京啟萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

  • 東海門如皋海門海安如東宿遷徐州萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

  • 合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州紹興萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

  • 金華寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

  • 珠海廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

  • 武漢成都重慶荊州太原蘭州烏魯木齊萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

  • 石家莊天津長春吉林濟南青島威海萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

  • 德州連云港昆明九江安慶萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

 

Leybold Name

LEYSPEC view 100

LEYSPEC view 100S

LEYSPEC view 200

LEYSPEC view 200S

LEYSPEC ultra 200S

LEYSPEC ultra 300S

Mass Range (amu)

1-100

1-100

1-200

1-200

1-200

1-300

Mass filter type

QMS

QMS

QMS

QMS

QMS

QMS

detector type

Faraday   cup

EM/Faraday   Cup

Faraday   cup

EM/Faraday   Cup

EM/Faraday   Cup

EM/Faraday   Cup

Sensitivity (A/mbar)

1x10-5

400/1x10-5

1x10-5

400/1x10-5

400/2.5x10-4

400/2.5x10-4

Minimum detectable 
    partial pressure (mbar)

1x10-10

1x10-14

1x10-10

1x10-14

1x10-11

1x10-12

Max operating pressure (mbar)

1x10-4

1x10-4

1x10-4

1x10-4

1x10-4

1x10-4

Filament material

Ir/Y2O3

Ir/Y2O3

Ir/Y2O3

Ir/Y2O3

Ir/Y2O3

Ir/Y2O3

operating temp (°C)

10-40

10-40

10-40

10-40

10-40

10-40

Max sensing temp (°C)

120

120

120

120

250

250

Max. bake out temp (elec. removed) (°C)

250

250

250

250

300

300

connection flange

DN40CF

DN40CF

DN40CF

DN40CF

DN40CF

DN40CF

Power input

DC24V   +-10% 50W

DC24V   +-10% 50W

DC24V   +-10% 50W

DC24V   +-10% 50W

DC24V   +-10% 50W

DC24V   +-10% 50W

Weight (kg)

2,6

2,84

2,6

2,84

3,21

3,21

IP

30

30

30

30

30

30

Serial communication

RS232C/RS485

RS232C/RS485

RS232C/RS485

RS232C/RS485

RS232C/RS485

RS232C/RS485

Software

ECA

ECA

ECA

ECA

ECA

ECA

Resolution

M/DeltaM=1M(10%PH)

M/DeltaM=1M(10%PH)

M/DeltaM=1M(10%PH)

M/DeltaM=1M(10%PH)

M/DeltaM=1M(10%PH)

M/DeltaM=1M(10%PH)

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